深圳市軸心自控技術(shù)有限公司
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更新時(shí)間：2024-03-05 13:37:21瀏覽次數(shù)：216次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 百分零部件網(wǎng)MYSmart MYS系列清潔設(shè)備通過消除傳統(tǒng)真空式等離子體處理的等待時(shí)間，帶來(lái)巨大產(chǎn)能和整體良率提升，同時(shí)能確保安全地處理所有敏感性電子元件。
工藝特點(diǎn) 敏感元器件的表面處理也能輕松解決
- 可接觸式氬氣等離子體
- 不產(chǎn)生火花、電弧、粉塵，紫外線和高熱
- 對(duì)于敏感電子器件，不產(chǎn)生靜電危害(如晶圓，導(dǎo)線架，半導(dǎo)體封裝零件等)
規(guī)格參數(shù) 基本參數(shù) | MYS等離子表面處理系統(tǒng)平臺(tái) |
用電需求 | 220?V, 2?kW, 10?A, 60?Hz |
用氣需求 | 90 psi (6 bar) |
外形尺寸 (W?x?D?x?H) | 1,200?x?770?x?1,400?mm |
重量 | 650?kg |
認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn) | CE |
定位精度 | XY: ±?30?m @ 3?σ?Z: ±?10?m @ 3?σ |
X,Y,Z軸重復(fù)精度 | XY: ±?15?m @ 3?σ?Z: ±?5?m @ 3?σ |
速度 | 1,000?mm/s (X, Y) |
加速度 | 1.0?g |
相機(jī)解析度 | 640?x?480?px (30?W) |
驅(qū)動(dòng)系統(tǒng) | AC servo |
軌道形式 | Belt |
軌道承重 | 3?kg |
適用最小產(chǎn)品寬度 | 50?mm |
適用產(chǎn)品寬度 | 475?mm |
適用最小產(chǎn)品長(zhǎng)度 | 50?mm |
適用產(chǎn)品長(zhǎng)度 | 350?mm |
軟件操作系統(tǒng) | Windows 7 |
產(chǎn)品厚度范圍 | 0.5–6?mm |
通訊協(xié)議 | SMEMA |
等離子處理范圍 (D?xW) | 475–350?mm |
基本參數(shù) | 等離子系統(tǒng)設(shè)備需求 |
RF功率 | 600W at 27.12 MHz |
主要等離子氣體 | Argon |
制程氣體 | O2, N2, or H2 (other upon testing) |
氣源壓力范圍 | 30–100 psig (0.2–0.7 MPa) |
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