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安捷來國際股份（香港）有限公司

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ULVAC羅茨泵排氣機(jī)組

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ULVAC羅茨泵排氣機(jī)組VPM-010極限壓力8

詳細(xì)介紹

ULVAC羅茨泵排氣機(jī)組

VPM-010

極限壓力	8.0X10^-2(使用液氮時(shí))
排氣速度	10m³/h （at1.3×10¹Pa）
排氣系統(tǒng)	●羅茨泵（MBS-010）10m³/h ●油旋片真空泵（GVD-050A）50L/min ●漏閥 ●真空計(jì)接口　 (18φ傳感器用)
電源	100V１φ0.75kVA
重量	26kg
外形尺寸	430mm(長)×250mm(寬)×523mm(高)
選購件	1．油霧過濾器（OMT-050A） *請(qǐng)根據(jù)用途挑選選購件

VPM-030

極限壓力	6.0X10^-2(使用液氮時(shí))
排氣速度	30m³/h （at1.3×10¹Pa）
排氣系統(tǒng)	●羅茨泵（MBS-030）30m³/h ●油旋片真空泵（GLD-136C）135L/min ●漏閥 ●真空計(jì)接口　 (18φ傳感器用)
電源	100V１φ1.5kVA
重量	43kg
外形尺寸	633mm(長)×250mm(寬)×651mm(高)
選購件	1．油霧過濾器（OMT-200A） 2．排氣口過濾器（OMI-200） *請(qǐng)根據(jù)用途挑選選購件

VPM-050

極限壓力	6.0X10^-2(使用液氮時(shí))
排氣速度	50m³/h （at1.3×10¹Pa）
排氣系統(tǒng)	●羅茨泵（MBS-050）50m³/h ●油旋片真空泵（GLD-201B）200L/min ●漏閥 ●真空計(jì)接口　 (18φ傳感器用)
電源	100V１φ1.5kVA
重量	49kg
外形尺寸	643?mm(長)×250?mm(寬)×689mm(高)
選購件	1．油霧過濾器（OMT-200A） 2．排氣口過濾器（OMI-200） *請(qǐng)根據(jù)用途挑選選購件

VPM-010

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