盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司
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廠商性質(zhì)其他
所 在 地上海市
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更新時間：2023-08-07 12:28:02瀏覽次數(shù)：87次
聯(lián)系我時，請告知來自 百分零部件網(wǎng)盛美的立式爐設(shè)備可大批量處理300毫米的晶圓，該設(shè)備平臺可應(yīng)用于高性能的半導(dǎo)體制造LPCVD、氧化、退火和ALD應(yīng)用。
具有高產(chǎn)、可靠和穩(wěn)定的性能。通過高精度的溫度控制技術(shù)、良好的均勻性和小顆粒控制，來保持優(yōu)異的薄膜質(zhì)量；
通過更高性能的增強設(shè)計實現(xiàn)高產(chǎn)能，并減少停機維護時間；
運用氣體對腔體進行干法清洗，來控制小顆粒雜質(zhì)；
裝載區(qū)運用低氧控制技術(shù)以抑制晶圓表面的自然氧化。
可以一次性操作裝載的晶圓數(shù)量為50-125片（晶圓/批）
可配備快速升降溫控制系統(tǒng)
腔體原位干法清洗系統(tǒng)
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