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涂膠設(shè)備

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盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司

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產(chǎn)品簡介

盛美的涂膠設(shè)備是晶圓級封裝（WLP）光刻工藝中的關(guān)鍵步驟。

詳細(xì)介紹

涂膠設(shè)備

• 可選配HMDS

• 涂膠

• 前烘

主要優(yōu)勢

創(chuàng)新的雙層旋涂方法

精確的涂膠厚度和均一性控制

腔體自動清洗功能

*的熱/冷盤模塊

技術(shù)*，使用便捷

特性和規(guī)格

兼容8英寸和12英寸晶片

可配最多四個涂膠腔體,并配置腔體自清洗功能

每個涂膠腔體可配有兩種光刻膠噴嘴

去邊（EBR）噴嘴, 預(yù)濕噴嘴, 正背面清洗噴嘴

2到8個熱盤，2到6個冷卻盤，1到2個HMDS模塊

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