XCTG-5+1

XCTG-6～9+2

鍍膜室規(guī)格

∮700～800mm×800～880mm

∮900～1000mm×1000～1200mm

極限真空度

≤7.6×10-4Pa

冷態(tài)抽真空時(shí)間

從1×105Pa至6.6×10-3Pa≤15分鐘

機(jī)組配置

KT-400擴(kuò)散泵機(jī)組

KT-400/ KT-500擴(kuò)散泵機(jī)組

靶配置

5個(gè)電弧靶1個(gè)磁控靶

6-9個(gè)電弧靶2個(gè)磁控靶

配電要求

KW

KW

設(shè)備用途

適用于各類工具鍍鍍膜要求，可鍍制DLC、TiN、TiCn、CrN、AlTiN、CrAlTiN等功能膜層

備注

可根據(jù)用戶產(chǎn)品、產(chǎn)量、膜層特殊要求設(shè)計(jì)制造非標(biāo)設(shè)備?？杉友b磁控靶、中頻孿生對靶等。