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硅片切片后清洗設(shè)備

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更新時間：2017-08-29 03:01:36瀏覽次數(shù)：281次

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北京華林嘉業(yè)科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

詳細介紹

硅片切片后清洗設(shè)備

型號：CGB-XXXX—XX系列，品牌：華林嘉業(yè)—CGB。該設(shè)備適用于2英寸、3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸硅晶圓片的清洗腐蝕，德國進口磁白PP板經(jīng)雕刻后熱彎/焊接組合加工；1.設(shè)備由五大部分組成：清洗槽部分、伺服系統(tǒng)及機械臂部分、層流凈化系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、機架及整機。 2.清洗槽部分由有機溶劑槽、去離子水槽、酸槽或堿槽等組成。 3.關(guān)鍵件采用進口件，包括氣動閥，PFA管道、全氟循環(huán)系統(tǒng)，保證工作介質(zhì)（酸、堿）的潔凈度，避免雜質(zhì)析出。 4.工藝過程全自動，機械手在槽間的轉(zhuǎn)換由兩套伺服系統(tǒng)控制，可存儲多條工藝時序，方便使用。有需求此方面設(shè)備的朋友，咨詢