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1.儀器X/Y/Z 三軸均采用我司自行研發(fā)的高精度位移傳感器，分辨率高達(dá)0.01um
2.F3 高精度 全閉環(huán) 自動(dòng)變倍光學(xué)鏡頭
3.采用以太網(wǎng)傳輸?shù)挠跋駵y(cè)量?jī)x專用運(yùn)動(dòng)控制器，高效穩(wěn)定，解決USB傳輸不穩(wěn)定的缺點(diǎn)
4.采用高解析度SONY CMOS傳威器進(jìn)行全局快門圖像外理 ，圖像潔晰不拖影
5.上光源采用八路分區(qū)獨(dú)立控制照明系統(tǒng) ，發(fā)光元件采用低亮減LED，使用壽命長(zhǎng)。
6.可以7x24小時(shí)不間斷運(yùn)行，XYZ 軸使用中國(guó)臺(tái)灣產(chǎn)的高精度線性導(dǎo)軌和絲桿 ，不同干市場(chǎng)上普遍使用的交叉導(dǎo)軌 ，具有高效和高穩(wěn)定件
7. AR-3 系列以大網(wǎng)控制器內(nèi)詈21項(xiàng)立體空間補(bǔ)償，大幅度提升儀器的測(cè)量精度
8.儀器工作臺(tái)考慮操作員的人生安全，采用防夾傷的工作臺(tái)。
9.Z軸鏡頭采用伺服馬達(dá)控制，Z軸鈑金置獨(dú)立固定安裝，不會(huì)跟隨Z軸升降
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