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現(xiàn)貨日本ULVAC皮拉尼真空計(jì)傳感器頭WP-01
現(xiàn)貨日本ULVAC皮拉尼真空計(jì)傳感器頭WP-01
傳感器規(guī)格：如果需要壓力
·空白計(jì)劃降低
·控制板空間節(jié)省
·配線簡化
決定子交換更容易
燈絲采用耐腐蝕材料鉑
其中一個使用的測量組件（SP1：WP-01,02,03,16）稍后使用
可以輸出2個設(shè)定點(diǎn)
SP1：壓力為0至5 V輸出（非輸出）
電源電壓：24 VDC輸入
用于半導(dǎo)體?電子部件等各種制造設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
用于爐等各種工業(yè)設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
用于在線式?片葉式等工藝腔室多種的各種制造設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
| 類型 | 傳感器單元 |
| 模型 | SP1 |
| 兼容的傳感器頭 | WP-01、WP-02、WP-03、WP-16 |
準(zhǔn)確性 | ±15 %（51 Pa ～760 Pa） |
| ±30 %（10 Pa ～1000 Pa） | |
| ±50 %（0.4 Pa ～3000 Pa） | |
| 工作溫度范圍 | 10～40℃ |
| 測量值輸出 | 非線性輸出：0至5VDC（zui 大10V） |
| 設(shè)定點(diǎn) 1/2 壓力設(shè)定調(diào)節(jié)監(jiān)視器 | 非線性輸出：0至5VDC（zui 大10V） |
| 控制輸出信號 | 集電極開路輸出，負(fù)邏輯 |
| 錯誤信號 | |
| 設(shè)定值 1/2 | |
| LED顯示屏 | 功率、錯誤、設(shè)定點(diǎn) 1、設(shè)定點(diǎn) 2 |
| 電源電壓 | DC24V±2V，90mA（zui 大） |
| 輸入/輸出連接器 | D-sub-15P（M2.6螺絲） |
| 重量 | 190克/0.41磅（不包括傳感器頭） |
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 輸入/輸出連接器 1 個 |
| 快速說明書 1份 |
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