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所在地區(qū):北京北京市

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

MCF精密夾具適用于半導(dǎo)體材料和光電材料的研磨和拋光,夾具采用高強(qiáng)耐腐蝕材料,可根據(jù)用戶工藝需求定制專屬組件。

詳細(xì)介紹

  • ● 晶圓樣品通過(guò)抽真空的方式吸附在夾具底面,并可以根據(jù)用戶工藝要求定制各種角度附件等非標(biāo)夾具附件,并實(shí)現(xiàn)對(duì)非標(biāo)形狀樣品的拋光及角度拋光。
     
  • ● 夾具帶有藍(lán)牙選配功能,可在線監(jiān)測(cè)樣品的去除量,精度1um,達(dá)到預(yù)先設(shè)置的去除量可自動(dòng)停機(jī)。
  • ● 晶圓背壓力范圍可實(shí)現(xiàn)0-10kg??啥ㄖ撇煌亓康呐渲貕K。
  • 適用的材料包括:
    硅基材料(Si,a-Si,poly Si)
    III-V材料(GaAs、InP、GaSb等)
    第三代半導(dǎo)體材料(SiC、GaN 等)
    紅外材料(CZT、MCT等)
    光電材料(LiNbO3、LiTaO3、SiO2等)
    金屬材料(Au、Cu、Al、Mo、TC4等)
  • 應(yīng)用的范圍包括:
    • MEMS
    • 半導(dǎo)體器件
    • 半導(dǎo)體襯底
    • 封裝


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