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更新時間：2025-04-21 16:52:01瀏覽次數(shù)：67次

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產(chǎn)品簡介

便攜式智能氣路控制儀是基于熱式氣體質(zhì)量流量控制器，來進(jìn)行四種氣體（強(qiáng)腐蝕性氣體除外）混合，濃度稀釋的一種裝置。可根據(jù)客戶的需求定制不同的氣體、流量、濃度稀釋范圍，并利用軟件進(jìn)行控制。

智能氣路控制儀是基于熱式氣體質(zhì)量流量控制器，來進(jìn)行多種氣體混合，濃度稀釋的一種裝置?？筛鶕?jù)客戶的需求定制不同的氣體、流量、濃度稀釋范圍，并利用軟件進(jìn)行控制。

產(chǎn)品優(yōu)勢：

? 流量監(jiān)測、記錄 ? 自動多段進(jìn)氣

? 濃度自動配比 ? 多種氣體可選

? MFC 故障監(jiān)測 ? 超壓檢測與報警處理

? 無線通訊控制（可定制） ? 手機(jī)APP監(jiān)測（可定制）

產(chǎn)品參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	智能氣路控制儀
項(xiàng)目	參數(shù)	備注
流量范圍	標(biāo)準(zhǔn)四路	100SCCM 500SCCM 2SLM 5SLM (其他量程可定制，至大量程不超過30SLM)
精度	±1%F.S.	其他精度可選
響應(yīng)時間	2秒
重復(fù)性	0.2%F.S.	單路重復(fù)精度0.2%F.S.
截止功能	≤0.6MPa	標(biāo)配，位于總出氣口，常閉截止閥
整機(jī)尺寸	490mm×500mm×200mm	深×寬×高
供電電壓	220VAC	100W
單項(xiàng)功能	√	4路標(biāo)配，位于混氣前，避免氣體返流
自動進(jìn)氣	√	4路標(biāo)配，按時間和流量自由編輯 10段數(shù)據(jù)點(diǎn)，3組數(shù)據(jù)切換，任意循環(huán)（定制）可實(shí)現(xiàn)：濃度配氣，時間配氣，壓力配氣
自動報警	√	標(biāo)配，自動報警，自動關(guān)斷，實(shí)時監(jiān)控設(shè)備狀態(tài)
數(shù)據(jù)處理	√	標(biāo)配，數(shù)據(jù)記錄保存，導(dǎo)出到U盤進(jìn)行存儲
外接通訊	可選	MODBUS-RTU
漏率	＜1×108atm.cc /sec He