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磁控濺射脈沖電源

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陜西藍(lán)海電氣有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

隨著科學(xué)技術(shù)不斷地發(fā)展，磁控濺射技術(shù)也得到了快速的發(fā)展，但在磁控濺射過(guò)程中，關(guān)鍵部分是脈沖磁控濺射電源，目前，脈沖磁控濺射電源向大功率、高頻化方向發(fā)展，由于開(kāi)關(guān)電源的高頻化使得開(kāi)關(guān)電源的損耗增加，因此，我公司設(shè)計(jì)生產(chǎn)的大功率磁控濺射脈沖電源采用了移相式軟開(kāi)關(guān)技術(shù)，大大降低了電源的開(kāi)關(guān)損耗，提高了電源的效率，利用輸出電流保護(hù)點(diǎn)設(shè)置的方法，是輸出電流任意調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)了快速反應(yīng)的過(guò)流保護(hù)。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品名稱(chēng)：磁控濺射脈沖電源

產(chǎn)品型號(hào)：BIPS-50001.2E

隨著科學(xué)技術(shù)不斷地發(fā)展，磁控濺射技術(shù)也得到了快速的發(fā)展，但在磁控濺射過(guò)程中，關(guān)鍵部分是脈沖磁控濺射電源，目前，脈沖磁控濺射電源

向大功率、高頻化方向發(fā)展，由于開(kāi)關(guān)電源的高頻化使得開(kāi)關(guān)電源的損耗增加，因此，我公司設(shè)計(jì)生產(chǎn)的大功率磁控濺射脈沖電源采用了移相式軟開(kāi)

關(guān)技術(shù)，大大降低了電源的開(kāi)關(guān)損耗，提高了電源的效率，利用輸出電流保護(hù)點(diǎn)設(shè)置的方法，是輸出電流任意調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)了快速反應(yīng)的過(guò)流保護(hù)。高

效和完善的保護(hù)措施是電源能長(zhǎng)期可靠的運(yùn)行保證，電源控制采用數(shù)字化設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)電源的本地控制和上位機(jī)智能化控制的目的。

電源采用脈沖單元疊加技術(shù),將5組相互獨(dú)立的單元模塊串聯(lián)起來(lái),采用同步驅(qū)動(dòng)技術(shù),實(shí)現(xiàn)了5kV 的高壓脈沖輸出?？赏ㄟ^(guò)增減脈沖單元的數(shù)量,滿足

不同輸出電壓的需要,實(shí)現(xiàn)了模塊化設(shè)計(jì)。

該系列電源的指標(biāo)為:
脈沖電壓幅值500V～5kV ,脈沖頻率500Hz～50kHz ,脈沖占空比5%～90% ,脈沖電流幅值10～200A ,脈沖功率5～50kW。