標(biāo)稱尺寸外徑8mm的微型微壓傳感器是專為空氣動(dòng)力學(xué)研究流場分布設(shè)計(jì)的，它特別適用于模型尺寸較厚或模型中空的實(shí)驗(yàn)工況。傳統(tǒng)的用毛細(xì)管引出壓力用掃描閥巡測的方式，因毛細(xì)管頻響的損失而測得的為穩(wěn)態(tài)流場分布?，F(xiàn)場直接布置微型傳感器的方法可獲得精確的動(dòng)態(tài)流場分布。

詳細(xì)介紹

標(biāo)稱尺寸外徑8mm的微型微壓傳感器是專為空氣動(dòng)力學(xué)研究流場分布設(shè)計(jì)的，它特別適用于模型尺寸較厚或模型中空的實(shí)驗(yàn)工況。傳統(tǒng)的用毛細(xì)管引出壓力用掃描閥巡測的方式，因毛細(xì)管頻響的損失而測得的為穩(wěn)態(tài)流場分布。現(xiàn)場直接布置微型傳感器的方法可獲得精確的動(dòng)態(tài)流場分布。

CYG507的壓力敏感元件采用的MEMS技術(shù)設(shè)計(jì)與制造。采用CAD技術(shù)的力敏結(jié)構(gòu)與版圖設(shè)計(jì)優(yōu)化了力學(xué)模型、雙島膜結(jié)構(gòu)（低微壓）和梁膜島復(fù)合結(jié)構(gòu)（超微壓）使得壓力敏感元件實(shí)現(xiàn)了低量程、高靈敏度和優(yōu)良線性度的統(tǒng)一兼得，應(yīng)力互補(bǔ)設(shè)計(jì)和無應(yīng)力微封裝技術(shù)實(shí)現(xiàn)了量程下的良好穩(wěn)定性。

CYG507為表差壓型，有探針型和螺紋安裝式兩種外形。探針型產(chǎn)品量程2.5kpa以上的外徑為6mm，2.5kpa以下的量程的外徑為8mm，長度均為18mm，螺紋型的螺紋為M10×1。外形見附圖。

CYG507采用敏感元件反面承壓，因此它有優(yōu)良的介質(zhì)兼容性。CYG507采用準(zhǔn)齊平無管腔的封裝設(shè)計(jì)，因此有優(yōu)良的動(dòng)態(tài)特性，可用頻率即使是量程500pa的品種可達(dá)1000Hz以上。

CYG507的可選量程為0.5、1、1.6、2.5、4、10、16、25kpa。

1、性能指標(biāo)參數(shù)

指標(biāo)/檔級	非線性精度 ±%FS	遲滯重復(fù)性 %FS	零位溫度系數(shù) ×10^-4FS /℃	靈敏度溫度系數(shù) ×10^-4FS /℃	零位時(shí)漂＜mv/8h
JA	0.5	0.2	5	5	0.3
JB	0.2	0.2	3	3	0.2