蘇州固展機電設備有限公司
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聯(lián)系我時，請告知來自 百分零部件網(wǎng)SEMI T（帶脈動阻尼器）SEMI HSEMI ESEMI S *SEMI系列泵是專門為半導體行業(yè)開發(fā)的隔膜泵系列，這個系列隔膜泵的組裝均是在100級潔凈室內完成。*SEMI系列泵的每一個部件在組裝時都經(jīng)過雙重清潔并經(jīng)過去離子水的測試，最終密封在塑料殼內。*SEMI T和SEMI H泵接觸液體的部分由PTFE/TMF制成，SEMI E泵接觸液體的部分由超純聚乙烯制成。*SEMI 系列泵在選擇時必須嚴格根據(jù)液體類型來選擇合適的泵。*SEMI E泵在使用時必須嚴格控制操作壓力（6bar）和液體溫度（70℃）。*SEMI T、SEMI H和SEMI S泵工作溫度和驅動的壓力限制不同，具體要求如下表所示：驅動空氣壓力6BAR5BAR4BAR3BAR2BAR允許溫度-SEMI T100℃110℃120℃130℃130℃允許溫度-SEMI H100℃130℃150℃180℃200℃允許溫度-SEMI E70℃70℃70℃70℃70℃允許溫度-SEMI S130℃130℃130℃130℃130℃ 注：SEMI T 材質TFM/PTFE、UPPE 尺寸10、20、50、100 輸送酸性液體、......
SEMI T（帶脈動阻尼器） |
SEMI H |
SEMI E |
SEMI S |
*SEMI系列泵是專門為半導體行業(yè)開發(fā)的隔膜泵系列，這個系列隔膜泵的組裝均是在100級潔凈室內完成。
*SEMI系列泵的每一個部件在組裝時都經(jīng)過雙重清潔并經(jīng)過去離子水的測試，最終密封在塑料殼內。
*SEMI T和SEMI H泵接觸液體的部分由PTFE/TMF制成，SEMI E泵接觸液體的部分由超純聚乙烯制成。
*SEMI 系列泵在選擇時必須嚴格根據(jù)液體類型來選擇合適的泵。
*SEMI E泵在使用時必須嚴格控制操作壓力（6bar）和液體溫度（70℃）。
*SEMI T、SEMI H和SEMI S泵工作溫度和驅動的壓力限制不同，具體要求如下表所示：
| 驅動空氣壓力 | 6BAR | 5BAR | 4BAR | 3BAR | 2BAR |
| 允許溫度-SEMI T | 100℃ | 110℃ | 120℃ | 130℃ | 130℃ |
| 允許溫度-SEMI H | 100℃ | 130℃ | 150℃ | 180℃ | 200℃ |
| 允許溫度-SEMI E | 70℃ | 70℃ | 70℃ | 70℃ | 70℃ |
| 允許溫度-SEMI S | 130℃ | 130℃ | 130℃ | 130℃ | 130℃ |
注：
SEMI T 材質TFM/PTFE、UPPE 尺寸10、20、50、100 輸送酸性液體、腐蝕液體
SEMI H 材質TFM/PTFE、PTFE 尺寸10、20 輸送熱酸性和腐蝕性液體
SEMI E 材質UPPE 尺寸10、20、50、100 輸送泥漿
SEMI S 材質SS 316L 尺寸20、50 輸送化學溶劑
| SEMI系列外形尺寸說明 | |||||||||||||
| mm | A | B | C | D | E | F | G | H | I | K | L | M | N |
| SEMI 10 | 184 | 112 | 72 | 28 | 10.5 | 95 | 145 | 114 | 57 | 133 | 68 | 79.5 | 37 |
| SEMI 20 | 207 | 109 | 98 | 35 | 10.5 | 109 | 163 | 154 | 75 | 172 | 91 | 115 | 32 |
| SEMI 50 | 255 | 157 | 98 | 46 | 19 | 113 | 195 | 207 | 104 | 215 | 110 | 165 | 33 |
| SEMI 100 | 315 | 196 | 119 | 57 | 19 | 138 | 238 | 269 | 135 | 267 | 138 | 225 | 39 |
| mm | O | Q | R | S | T | U | V | W | X |
| SEMI 10 | 105 | 155 | 155 | 36 | 110 | 245 | 3/8" NPT | 1/4" NPT | 3/8" |
| SEMI 20 | 139 | 200 | 163 | 46 | 110 | 287 | 1/2" NPT | 1/4" NPT | 1/2" |
| SEMI 50 | 177 | 258 | 224 | 59 | 150 | 346 | 1" NPT | 1/4" NPT | 1" |
| SEMI 100 | 223 | 322 | 298 | 80 | 213 | 428 | 1 1/4" NPT | 1/4" NPT | 1 1/4" |
SEMI系列泵性能曲線
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