徠卡高真空鍍膜儀

在電子顯微鏡領域，往往需要對樣品進行表面鍍膜從而使樣品表面成像或圖像質量得到改善。在樣品表面覆蓋一層導電的金屬薄膜可以消除荷電效應，降低電子束對樣品的熱損傷，并可以提高SEM對樣品進行形貌觀察時所需的二次電子信號量。精細的碳膜具有電子束透明且導電的特性，因而常應用于X射線微區(qū)元素分析，制備網格支持膜，以及制備適宜于TEM觀查的復型。需要怎樣的鍍膜技術取決于分辨率和應用需求。Leica EM ACE鍍膜儀家族提供在各應用領域所需的鍵膜解決方案。

Leica EM ACE600 是一款多功能型高真空鍍膜系統(tǒng)，用于制備超薄，細顆粒的導電金屬膜和碳膜，以適用于FE-SEM和TEM超高分辨率分析所需的鍍膜要求。這一款全自動臺式鍍膜儀，包含內置式無油真空系統(tǒng)、石英膜厚監(jiān)控系統(tǒng)和馬達驅動樣品臺（旋轉為標配，傾斜和高度馬達驅動為選配）。

徠卡高真空鍍膜儀可以配置如下鍍膜方式:

★★★ 金屬濺射鍍膜

★★★ 碳絲蒸發(fā)鍍膜

★★★ 碳棒蒸發(fā)鍍膜（帶有熱阻蒸發(fā)鍍膜選配件）

★★★ 電子束蒸發(fā)鍍膜

★★★ 輝光放電

★★★ 連接VCT樣品交換倉：

        與徠卡EM VCT配套實現冷凍鍍膜，冷凍斷裂，雙復型，冷凍干燥和真空冷凍傳輸