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FS5001L 系列氣體流量傳感器

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產品簡介

FS5001L系列氣體質量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的

詳細介紹

FS5001L系列氣體質量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感器芯片來制作，適用于各類清潔、干燥氣體。傳感器采用標貼式安裝，使安裝尺寸更加緊湊，可以很容易的實現(xiàn)在小空間內的多傳感器集成。
測量范圍：200SCCM，500SCCM，1000SCCM，4000SCCM，6000SCCM 可選。

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