當(dāng)前位置：深圳市奧坤鑫科技有限公司>>半導(dǎo)體等離子處理設(shè)備>>VAP系列>>VAP系列晶圓級(jí)等離子活化系統(tǒng)

VAP系列晶圓級(jí)等離子活化系統(tǒng)

參考價(jià)

面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地深圳市

在線詢(xún)價(jià) 收藏產(chǎn)品查看聯(lián)系電話

百分零部件網(wǎng)采購(gòu)部電話：0571-88918531QQ:2568841715

聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2023-08-05 09:08:31瀏覽次數(shù)：110次

聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自百分零部件網(wǎng)

暫無(wú)信息

深圳市奧坤鑫科技有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：42條

所在地區(qū)：廣東深圳市

詢(xún)價(jià) 給他留言

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

整機(jī)結(jié)構(gòu)帶loadport系統(tǒng)分為前端設(shè)備操作單元、前端EFEM單元及等離子處理單元

詳細(xì)介紹

整機(jī)結(jié)構(gòu)	帶load port系統(tǒng)分為前端設(shè)備操作單元、前端EFEM單元及等離子處理單元，前端EFEM系統(tǒng)與等離子體處理單元分體式設(shè)計(jì)
等離子體源	射頻等離子體源或雙頻等離子體源
反應(yīng)腔室	標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)為雙反應(yīng)腔室，可根據(jù)需求定制單反應(yīng)腔室和多反應(yīng)腔室結(jié)構(gòu)
機(jī)械傳片	單臂或雙臂高精度機(jī)械手
Wafer升降	機(jī)械式Wafer pin升降結(jié)構(gòu)，Wafer pin采用特定工藝處理
前真空泵	干式真空泵，根據(jù)安裝位置及工藝不同，選擇100-300m3/h規(guī)格
高真空真空泵	分子泵（水冷或CDA冷卻）
工藝壓力控制	自動(dòng)調(diào)壓蝶閥
真空檢測(cè)	管道真空計(jì)、反應(yīng)腔室全量程真空計(jì)、工藝真空計(jì)、壓差開(kāi)關(guān)
工藝氣體種類(lèi)	標(biāo)準(zhǔn)配置高純Ar、N2、O2，可增加其他高純工藝氣體
氣體流量控制	質(zhì)量流量控制器（MFC）
控制系統(tǒng)	基于工業(yè)電腦設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)的人機(jī)交互系統(tǒng)，系統(tǒng)設(shè)計(jì)人性化、操作簡(jiǎn)單