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網(wǎng)站幫助本站服務發(fā)布采購企業(yè)建站百分零部件網(wǎng)供求商機供應信息半自動單軸減薄機
2024-11-16
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具有自動測厚補償、多段研削程序、超負載等待等功能，滿足各類工藝需求
PC工控機系統(tǒng)，觸摸屏控制，除手動上、下片外一鍵式自動完成研削加工
可根據(jù)客戶需求定制化各類工作臺，滿足各類半導體材料的研削薄化工藝
盡量減少潔凈間的占地面積
| 項目 | IVG-2020 | IVG-3020 |
| 晶圓尺寸 | 8英寸 | 12英寸 |
| 砂輪規(guī)格 | ?203(OD)mm | ?303(OD)mm |
| 砂輪軸轉速范圍 | 0~6000 RPM | 0~4000 RPM |
| 工作臺轉速 | 0~400 RPM | 0~260 RPM |
| Z軸行程 | 130mm | 130mm |
| Z軸進給速度 | 0.1~1000 um /sec 可選配最小0.01um/sec | 0.1~1000 um /sec 可選配最小0.01um/sec |
| 厚度在線測量分辨率 | 0.1um | 0.1um |
| 厚度在線測量重復精度 | ±0.001 mm | ±0.001 mm |
| SECE/GEM系統(tǒng) | 可選配 | 可選配 |
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