電鍍設(shè)備2: 2024-11-14

產(chǎn)地：: 暫無

所在地：: 上海上海市

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產(chǎn)品詳情

電鍍設(shè)備

主要優(yōu)勢

脈沖局部電鍍技術(shù)

適用于超薄種子層

高產(chǎn)能

獨(dú)立模塊設(shè)計(jì)

低耗材成本COC和運(yùn)行成本COO

特性和規(guī)格

設(shè)備應(yīng)用于300毫米晶圓

最多可配至3個(gè)Load Port

最多可配至4個(gè)電鍍腔體配備脈沖局部電鍍功能

最多可配至4 個(gè)清洗腔體

最多可配至8個(gè)退火腔體

電鍍均一性:
　　　　　WIWNU < 1.5%
　　　　　WTWNU < 1.5%

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盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股

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商家概況

主營產(chǎn)品：: 清洗設(shè)備

主營業(yè)務(wù)：

該商家其它產(chǎn)品

其它商家同類產(chǎn)品

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盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司

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