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新一代工業(yè)級流量傳感器芯片與氣路結構的結合

數(shù)字質(zhì)量流量控制器：采用公司自主研發(fā)的工業(yè)級流量傳感器芯片，結合低壓損氣路結構以及高精度數(shù)字控制電路和算法，實現(xiàn)寬溫范圍內(nèi)的高精度、高穩(wěn)定性、寬量程比控制。該產(chǎn)品配備現(xiàn)場調(diào)試屏及獨立供電接口，適配半導體 、真空鍍膜、光伏及其它各類應用環(huán)境 。

   基于科學家托馬斯提出的“氣體的吸熱量或放熱量與氣體的質(zhì)量流量成正比”理論發(fā)展而來。無氣流時，以Heater為中心的溫度場對稱分布；有氣流時，溫度場分布發(fā)生偏移，導致上下游出現(xiàn)溫差，通過測量該溫差，即可推算出流過芯片表面的氣體質(zhì)量流量。

   青島芯笙MFC-S500系列氣體質(zhì)量流量控制器，具有*的氣體流道設計，可實現(xiàn)靈活的分流比配置，量程覆蓋1sccm~120slm，最小控制精度為0.1sccm，0~50℃溫度范圍漂移量僅為0.4~0.6%。在電學信號方面，提供多種數(shù)字和模擬控制方式，并配備工業(yè)級顯示屏，方便客戶現(xiàn)場調(diào)試和配置。

青島芯笙微納電子科技有限公司，位于青島市嶗山區(qū)國際創(chuàng)新園，孵化自山東大學。公司以高端氣體質(zhì)量流量計/控制器（MFC）、薄膜真空計（Vacuum?Gauges）、壓力控制器（EPC）等半導體核心零部件的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售為主營業(yè)務，通過自主創(chuàng)新、產(chǎn)學研合作及成果轉化、行業(yè)整合等手段，實現(xiàn)快速發(fā)展，助力國家半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。
?????????公司現(xiàn)有發(fā)明專利21項，實用新型專利12項，國家一級計量證書、CE認證、TUV?EMC認證、防爆認證等各類證書30余份，從核心芯片到模組、算法構建了全鏈條技術能力。核心研發(fā)成員來自新加坡微電子研究院、德國卡爾斯魯厄理工學院、山東大學、中科院、復旦大學等科研機構以及國內(nèi)知名儀器儀表企業(yè)，全力打造國內(nèi)一流研發(fā)團隊。
????????公司獲評國家高新技術企業(yè)、青島市“專精特新”企業(yè)，承建有青島市先進傳感器重點實驗室、青島市先進氣體流量測控技術工程中心、青島市專家工作站等研發(fā)機構，并承擔多項科技部重點研發(fā)計劃、山東省重大創(chuàng)新工程、青島市重點項目等國家及省部級技術攻關課題。
????????公司現(xiàn)有千級和萬級潔凈廠房3000余平米，在青島、深圳、濰坊等地設有制造基地和研發(fā)中心，全面保障產(chǎn)品的高質(zhì)量、快速出貨能力，并提供專業(yè)的售前售后服務。